Главная/Другое/Физические основы микроэлектроники

Физические основы микроэлектроники

В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик

★★★★★ оценок пока нет

Автор: В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик
Издательство: Академия
Год издания: 2008
Страниц: 400
ISBN: 9785769542275

Оцените книгу:

Аннотация

Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литограф

Отзывы читателей

Отзывов пока нет — станьте первым.

Оставить отзыв