Ф
Физика микросистем в 2-х частях Часть 1
Гридчин В.А.
★★★★★
оценок пока нет
- Автор
- Гридчин В.А.
- Издательство
- НГТУ
- Год издания
- 2004
- ISBN
- 9785778204469
Оцените книгу:
Книга посвящена физическим основам микросистем – новому направлению техники, которое интенсивно развивается в последние два десятилетия.В данном томе рассмотрены главным образом сенсоры давления и актюаторы с электростатическим управлением, что обусловле