Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Автор: Киреев В.Ю
Издательство: Техносфера
Год издания: 2006
Страниц:
ISBN: 5948360393
Аннотация:
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития.Приведены основные характеристики элементов микроструктур
Посмотреть в магазинах:
Другие сервисы поиска:
Книгу "Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы" (Киреев В.Ю) можно также попробовать поискать и скачать в бесплатных электронных библиотеках, однако мы рекомендуем пользоваться только официальными сервисами, имеющими соглашения с авторами и издательствами.
|
| (c) KBD.RU |