Т
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Киреев В.Ю
★★★★★
оценок пока нет
- Автор
- Киреев В.Ю
- Издательство
- Техносфера
- Год издания
- 2006
- ISBN
- 9785948360393
Оцените книгу:
Аннотация
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития.Приведены основные характеристики элементов микроструктур
Отзывы читателей
Отзывов пока нет — станьте первым.