Магнетронные распылительные системы. Книга 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления

Аннотация

Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные сис

Отзывы читателей

Оставить отзыв

Ваше имя Отзыв Проверочный код Отправить отзыв