Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Аннотация

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии - реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное

Отзывы читателей

Оставить отзыв

Ваше имя Отзыв Проверочный код Отправить отзыв