Труды ФТИАН. Том 19. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование
Автор:
Издательство: Наука
Год издания: 2008
Страниц: 250
ISBN: 9785020366411
Аннотация:
Сборник посвящен актуальным проблемам математического моделирования субмикронных технологий и квантовых наноприборов. Основное внимание уделено наиболее важным проблемам, таким как фотолитография, травление и осаждение тонких пленок, электронная литограф
Посмотреть в магазинах:
Другие сервисы поиска:
Книгу "Труды ФТИАН. Том 19. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование" () можно также попробовать поискать и скачать в бесплатных электронных библиотеках, однако мы рекомендуем пользоваться только официальными сервисами, имеющими соглашения с авторами и издательствами.
|
| (c) KBD.RU |