Главная/Наука/Труды ФТИАН. Том 19. Квантовые компьютер…

Труды ФТИАН. Том 19. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование

Автор не указан

★★★★★ оценок пока нет

Издательство: Наука
Год издания: 2008
Страниц: 250
ISBN: 9785020366411

Оцените книгу:

Аннотация

Сборник посвящен актуальным проблемам математического моделирования субмикронных технологий и квантовых наноприборов. Основное внимание уделено наиболее важным проблемам, таким как фотолитография, травление и осаждение тонких пленок, электронная литограф

Отзывы читателей

Отзывов пока нет — станьте первым.

Оставить отзыв